Online-Wasserüberwachung für die Halbleiterindustrie

Halbleiterprozesse erfordern eine äusserst geringe ionische Verunreinigung. Die Analysatoren für Leitfähigkeit und Widerstand von SWAN ermöglichen eine Echtzeitüberwachung, um Verunreinigungen sofort zu erkennen, wodurch die Integrität der Wafer geschützt und kostspielige Defekte reduziert werden.

Schon geringste Spuren von TOC, Kieselsäure, gelöstem Sauerstoff oder Schwankungen des pH-Werts können die Produktion stören. Die SWAN-Analysatoren überwachen diese Parameter kontinuierlich, sodass das Betriebspersonal eingreifen kann, bevor aus kleinen Problemen grosse werden.

UPW-Aufbereitungsanlagen umfassen komplexe Prozesse wie Entgasung, Mikro-/Ultrafiltration, UV-Bestrahlung und Desinfektion. Die Geräte von SWAN sind vollständig kalibriert, lassen sich leicht integrieren und verfügen über eine automatisierte Diagnosefunktion, um Ausfallzeiten zu minimieren und eine lückenlose Wasserqualität zu gewährleisten.